大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

低温等离子体处理装置总体指标：
1 输入电压：AC380V(±10%)
2 平均功率：10~30 kW，10~20KW
3 工作频率：约6~10 kHz
4 环境相对湿度：20%～93%（不结露）
5 环境温度：-10℃～+60℃
6 大气压力：86kPa～106kPa
7 气体流速：0～30m/s
低温等离子体处理系统单元脉冲电源主要技术指标
1 输入电压：AC380V（±10%）
2 平均功率：2～5kW
3 脉冲功率：4～10kW
4 频率：5～10KHz
5 低温等离子体脉冲电源重量：22kg；脉冲变压器重量：32kg；
6 低温等离子体脉冲电源尺寸：250(W)×200(H)×360(D)mm3
7 脉冲变压器尺寸：340(W)×340(D)×350(H)mm3
8 使用温度范围：-10℃～+50℃；
9 相对湿度： <93%（不结露）；
10 大气压力：　86～106kpa
11 贮存环境：
温 度：-25℃～+55℃
相对湿度：＜93%（40℃，不结露）
大气压力：86～106kpa

主要附件及配置

无

主要功能及特色

科研