真空中心波长:532.00nm输出功率:>60W线宽(100us积分):<10kHz强度噪声:<0.05%(10-10MHz)长期功率稳定性:<0.75% @3hrs, RMS调谐范围:>±0.175nm, 连续不跳模PZT调谐范围:>3GHzPZT调谐带宽:>5kHz输出模式:空间准直输出光束质量: M2<1.1偏振消光比:>20dB, 线偏振水冷(包含1台水冷机)
无
有利于促进材料学科领域及集成电路、微纳加工的技术研究